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EN 021-6525 3206

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氫/氧熱裂解源

氫/氧熱裂解源通過高溫將氫/氧分子裂解為活性高的原子,常用于樣品處理或生長。


規格說明
最大工作溫度1800℃●  內置水冷,降低對腔體熱輻射
頂部具有特殊結構擴散板,提高束流均勻性


產品尺寸

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氫/氧熱裂解源模塊描述配置參數
型號E38HSE38OS
尺寸安裝法蘭DN38CF
真空內長度220mm
真空內外徑36mm
溫度熱偶類型C型

最高工作溫度/電流1800℃/13A1700℃/13A

溫度穩定性≤0.1%,取決于PID溫控器

最高除氣溫度/電流2000℃/14A1900℃/14A

最高烘烤溫度250℃
標簽: 超高真空MBE
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