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EN 021-6525 3206

材料沉積表

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Ta

時(shí)間：2021.11.05來(lái)源 ：點(diǎn)擊次數(shù)：1702次

材料 符號(hào)（原子序數(shù)）
 熔點(diǎn)(℃)
 密度（g/cm3）
 Z-Ratio
 飽和蒸氣壓溫度(℃)
 建議蒸發(fā)源*
 建議坩堝*
 注意事項(xiàng)
E-8Torr
 E-6 Torr
 E-4Torr
鉭 Ta（73）
 2996 16.65 0.262 1960 2240
 2590
 E38EB/EBV


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